南方網訊幹式真空泵技術為我國半導體集成電路全產業鏈國產化的貫通奠定了重要基礎；首台BNCT設備在東莞市人民醫院落地，預計於明年底投入使用......11月15日至19日，第二十五屆中國國際高新技術成果交易會在深圳舉行，18新利luck苹果下载（簡稱“國科控股”）攜百餘項創新產品和科技成果轉化項目驚豔亮相。

加速推動半導體集成電路全產業鏈國產化

　　“這個產品能解決我們半導體集成電路全產業鏈的國產化。”在國科控股展區，一款領先的芯片製造核心零部件“幹式真空泵”引起廣泛關注。

據了解，該款幹式真空泵由中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司（簡稱“沈陽科儀”）研發，廣泛應用於拉晶、光刻、刻蝕、薄膜沉積、離子注入等半導體關鍵製造設備。沈陽科儀趙崇淩研究員介紹，芯片的製造流程接近20個，大部分流程都需要用到幹式真空泵，它是其中的一個核心部件，具有潔淨無油、穩定可靠、效率高、能耗低、性能穩定、運行成本低等諸多優勢。目前，沈陽科儀已與國內外多個代表性芯片製造企業合作，裝機數量超過2萬台。

趙崇淩研究員介紹創新產品 鄒長森/攝

　　“在國際上，我國幹式真空泵技術在前些年還處於‘跟跑’狀態，現在已經實現了‘並跑’。幹式真空泵技術打破了歐美及日韓企業對同類產品的長期壟斷地位，保證了國家戰略性產業關鍵核心部件供應鏈的穩定，解決了‘卡脖子’問題，同時也為全產業鏈國產化的貫通奠定了重要基礎。”趙崇淩表示，“不僅如此，我們每年還要從銷售收入裏麵拿出10%投入研發，持續推動技術升級，開展幹式真空泵的關鍵技術攻關，不斷衝破技術壁壘。”

體內埋“雷”摧毀癌細胞首台BNCT臨床設備明年在莞啟用

科技創新的關鍵一環是成果轉化應用，要聚焦經濟主戰場，致力於為民服務。在國科控股展區，我們驚喜地發現，眾多科研成果已經落地開花，進入“豐收季”。

　　“硼中子俘獲治療（BNCT）是一種新興的二元、靶向、細胞級的腫瘤治療方法。它的作用原理就是在人體內注入硼藥，這種硼藥就好比派出去的‘工兵’，主動去癌細胞周圍埋‘地雷’，這些‘地雷’在BNCT設備產生的中子照射下，一旦遇到中子即可引發隻有1-2個細胞尺度的‘核爆炸’來摧毀癌細胞，對其他正常的組織細胞損傷極小。”國科中子醫療科技有限公司工作人員介紹，該裝備性能已達到世界領先水平，填補了高端醫療器械國產化的多項空白，對於提升我國腫瘤診療手段和水平具有重大意義。

東莞市人民醫院硼中子俘獲治療（BNCT）設備組裝模型 鄒長森/攝

據悉，BNCT設備是由國科控股依托散裂中子源大科學裝置科研成果，推動實現的產業化成果。2022年，國科中子在東莞市人民醫院落地了首台BNCT臨床設備，打造成為重點示範項目。目前，該設備正在進行總裝聯調，將在2024年上半年開展臨床試驗，並預計於明年底投入使用。

國科控股展區還展示了國內首台高分辨率場發射槍掃描電子顯微鏡，重大會議上使用的電子票箱、表決器和報到機等創新技術產品及最新產業化成果。

國科控股黨委常委、副總經理劉榮光表示，“當前，新一輪科技革命和產業變革加速演進，科技創新和自主可控將成為未來產業發展的大趨勢。國科控股作為中國科學院經營性國有資產的管理和運營平台，將圍繞中國科學院各科研院所的重大科技成果轉化，聚焦科技創新產業鏈條，搭建助力科技成果轉化及其產業化的生態係統，培育戰略性新興產業，為科技成果轉化和產業化發展作出獨特的、應有的貢獻。”

（作者|鄒長森，本文轉載自南方網，2023-11-16）